روش فلورسانس پرتو x (XRF) يا طيف سنجي پرتو x يکي از روشهاي آناليز عنصري است که امروزه از آن به طور وسيعي در صنعت و مراکز پژوهشي استفاده مي شود. اين روش به ويژه به خاطر سرعت زياد در شناسايي عنصري براي برخي از صنايع ضروري است. در اين روش پرتو x به نمونه مجهول تابيده و در اثر برانگيختگي اتمها باعث پديد آمدن پرتو x ثانويه مي شود سپس با تعيين طول موج يا انرژي پرتو ايکس ثانويه عنصر يا عنصرهاي مورد نظر را مي توان شناسايي کرد.

اساس کار:
پرتو خروجي از لوله پديد آورنده پرتوx به نمونه مي تابد و در اثر بمباران، الکترونهاي موجود در مدار داخلي اتم خارج شده و جايگزيني اين الکترونها از مدارهاي بالايي، سبب پديد آمدن پرتو x يا همان پرتو مشخصه خواهد شد.
شکل اجزاي اين دستگاه در شکل 1 نشان داده شده است. پرتو x خروجي از نمونه که در حقيقت پرتو مشخصه عنصرهاي موجود در نمونه است پس از عبور از جمع کننده به سوي يک بلور هدايت مي شود.